设备名称：高分辨快速扫描原子力显微镜

　　型号：Cypher  S

　　制造厂家：牛津仪器

　　功能及用途：

　　用于对金属材料的微纳结构进行三维成像，同时测量材料的力学、电学性能。

　　技术指标：

X, Y方向的扫描范围不低于30μm，Z方向不低于5μm

XY方向的闭环噪音水平：< 60 pm

Z方向的闭环噪音水平: < 50 pm

Z轴传感器噪声：< 50pm

高度噪声：<15pm

直流探测器噪音：<5pm